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綠松石拋光液

綠松石拋光液

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 綠松石拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。    綠松石拋光液主要用于藍(lán)寶石襯底的拋光。還可廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅片、化合物晶體、精密光學(xué)器件、寶石等的拋光加工。     

 綠松石拋光液的特點(diǎn):  

 1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的。 

 2.高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減小對(duì)電子類產(chǎn)品的沾污。 

 3.高平坦度加工, 綠松石拋光液是利用SiO2的膠體粒子進(jìn)行拋光,不會(huì)對(duì)加工件造成物理?yè)p傷,達(dá)到高平坦化加工。

    綠松石拋光液根據(jù)pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液。


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